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          歡迎走進(jìn)蓋斯帕克氣體技術(shù)!
          中文  |  English
          項目描述

            

           特氣系統設備為潔凈室里所有工藝設備提供所需的工藝氣體,是混合集成平臺必不可缺的基本設備,屬于混合集成平臺的核心裝備,將支撐微電子學(xué)院科研和教學(xué)。本設備的建設對于電子科學(xué)與技術(shù)和光學(xué)工程學(xué)科建設有重要的意義,年使用機時(shí)不少于3000 小時(shí)。


            該項目氣體種類(lèi)共計25種,含17種毒腐/易燃爆/極危險特種氣體和8種普通高純氣體。配置全自動(dòng)特氣柜GC、全自動(dòng)氣瓶架GR、特種氣體VMB、特種氣體VMP、管道輸送系統(包括雙套管管道輸送系統)、二次配、廢氣廢液處理設備Scrubber、生命安全系統GMS、通風(fēng)及廢氣處理。





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